In Zusammenarbeit mit der Firma MBE-Komponenten GmbH wurde ein MBE-System entwickelt, das das Wachstum ultradünner, isotopenangereicherter Si- und Ge-Schichten ermöglicht und für den Test neuer Verdampfungsquellen geeignet ist. Mit Partnern der Technischen Universität Aachen und des IHP Frankfurt/O. wird im Rahmen des SiGeQuant-Projektes die Eignung der gewachsenen Strukturen für den Einsatz in Quantencomputern getestet.